■產(chǎn)品特點(diǎn):
1、耗電量1.3kw,與原產(chǎn)品相比減少54%。
2、采用耐伸縮性能優(yōu)越的縱向螺桿。
3、結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定的高耐腐蝕性。
4、支持20L/min的大排氣量。
5、適合大型晶圓/FPD基板。
■產(chǎn)品特點(diǎn):
1、耗電量1.3kw,與原產(chǎn)品相比減少54%。
2、采用耐伸縮性能優(yōu)越的縱向螺桿。
3、結(jié)構(gòu)材料和溫度設(shè)定的高耐腐蝕性。
4、支持20L/min的大排氣量。
5、適合大型晶圓/FPD基板。
復(fù)制成功
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